為了安全地使用本產品請務必在使用前閱讀。氣動元件的通用注意事項，請確認卷頭第53頁，各系列的詳細注意事項請確認本文的「 使用上的注意事項」。 572 1 響應時間受到使用壓力和負荷容積的影響。對于響應時間需要穩定的再現性時，請在前段設置減壓閥。 2 為了避免噴嘴造成的誤動作,請采取如下對策。

● 請在AC電源線上設置在線過濾器。

● 對于誘導負荷(電磁閥、繼電器等)請使用CR、二極管等浪涌吸收器除去發生源的噪音。

● 請將比例元件的配線與強電場分開。

● 請將比例元件的配線使用頻蔽線連接。

● 請將頻蔽線下降到電源側的地線。但是，串行傳輸型的通信電注意 設計 · 選定時纜的頻蔽線,請根據各通信系統規格進行處理。如吹氣一樣將二次側的控制壓力向大氣開放使用時, 因配管條件、吹氣條件有可能引起壓力變動。麻煩您根據實際的使用條件進行測試，或者與本公司聯系。 4 選定干燥機、空氣過濾器、精密過濾器、減壓閥時，請選定比例元件所使用流量以上的元件。 1 請避免在陽光直射、水、油飛揚的場所使用。 2 請將比例元件所使用的空氣配管充分氣洗后再進行連接。配管時請不要將密封帶一起擰入。 3 連接配管時密封帶的纏繞方法:請將密封帶在配管的螺紋前端2mm以上的內側位置開始與螺紋反方向纏繞。

● 如密封帶超出配管螺紋的前端，在擰入時密封帶會被切斷,變為碎片進入氣壓元件內部,導致故障。注意 安裝 · 裝配 · 調試時 4 將排氣口用螺塞堵住則不能進行正常的壓力控制,請務必向大氣開放。 5 連接配管時請進行適當的緊固力距

。 ● 目的是防止空氣泄漏，螺紋破損。

● 請先用手將螺紋擰入,然后再用工具緊固,以免損傷螺牙。 1 請不要拆卸以免導致故障。拆卸后的不能保證正常動作,請諒解。注意 使用 · 維護時 3 固體液體密封劑固體液體密封劑 1 ～ 1.5 6 ～ 8 13 ～15 〔推薦緊固力距〕連接螺紋 M5 Rc1/4 Rc3/8 緊固力距 N?m 電空減壓閥　通用注意事項 F ?R ?L 單元冷凍式干燥機干燥劑式干燥機高分子膜式干燥機空氣過濾器其它排水器 F.R.L （組件） F.R.L （分類）小型F?R 精密R 凈化 F?R 電空R F.R.L （相關元件）速度控制器消聲器止回閥?其它單向閥管接頭?氣管真空F 真空R 真空發生器真空輔助設施?襯墊吸盤機械式壓力開關電子式壓力開關電子差壓開關著座?密合確認開關空壓傳感器緊固用壓力開關小型流量傳感器流量傳感器全空壓系統（全空壓系統）全空壓系統（γ）循環式水冷卻裝置水用流量傳感器 575 1 電源沒有接通的狀態，長時間附加一次側壓力,二次側壓力有可能會上升到一次側壓力的值。如果在安警告 設計 · 選定時各機種系列 · 個別注意事項 EV2000系列、EV0000系列、EVS000系列全上有問題時,請在一次側或二次側使用閥門,以確保系統上的安全。 1 質量不好的空氣會影響元件特性及耐久性。

● 請再空氣壓源安裝干燥機、空氣過濾器、精密過濾器，充分除去固體、水分、油分，使用潔凈的空氣。另外,請不要使用加油空氣,會影響元件的特性。

● 根據輸入信號降低二次側壓力時,二次側的空氣通過ER內部從排氣口被排放出去。如二次側配管、負荷側內部有污染同樣會影響元件特性等,對元件造成壞影響，請務必使配管內部保持清潔。 2 在加壓的狀態下切斷電源,二次側的壓力仍被保持。

● 如果要為排氣狀態,請根據輸入信號降低輸出壓力后再切斷電源,或者通過殘壓排出閥等排出。另外,這種保持狀態不能保證長時間保持。 3 請確保一次側壓力不低于「設定二次側壓力+高控制壓力×0.1」。

● 特別時二次側壓力設定在0MPa到12％F.S.范圍內時,如果一次側壓力得不到長時間供給,則會縮短產品的壽命。請不要使用這樣的方法。 4 EV2000系列即使為0MPa設定,在5kPa以下的范圍內二次側壓力不能被排放而有殘留。如果一定需要注意 設計 · 選定時 1 選擇項的密封電纜接插件為4芯頻蔽線。 ● 在EV2000系列、EV0000系列中如果沒有使用綠色的特殊用途的線(監視器輸出等)，請確保不要與其他的線(包括頻蔽線) 接觸,做好絕緣處理。如果誤與地線相接,會導致誤動作和產品的破損。

● EVS000系列中,本體側的頻蔽線是與選擇項的密封電纜接插件的綠色線相連的,請將綠色線與頻蔽線連接到電源的地線上。空氣過濾器 減壓閥 5μm 空氣干燥機 精密過濾器（除去油分）<推薦空氣回路>（壓力開關） 0MPa可以采取使二次側泄氣或者在二次側安裝三方閥以與大氣切換等措施。 5 EV0000系列與EVS000系列,二次側配管有泄漏,有可能會引起振動。

● 配管時,請確保沒有泄漏,進行切實的配管。另外,吹氣,或者在二次側施加反向壓力時的使用條件時,不能維持設定壓力會產生大的壓力的同時,還會縮短壽命,請避免這樣的使用。 6 電流輸入型在配線、電源的接地和信號的公共極為共用。

● 多個EV由1臺PLC或者D/A配套元件驅動時，有可能會因 配套元件的回路方式,產生配線上的問題,而不能進行正常的信號輸入,使用時請與PLC制造商商談。 EV2509系列,供給氣口在本體的左右二側設有N1、 IN2的2個系統。如有不需要使用的供給氣口，請務必堵上。 8 電流輸入型輸入信號為1-5V也可使用,但是與其他電壓輸入型不同,因輸入電阻很小為250Ω,請使用與之相對應的信號發生裝置。 9 “EV0000系列、EVS000”系列中使用微速氣缸等，泄漏量大的氣缸時,不能維持設定壓力,會產生大的聲音及縮短元件壽命,請避免這樣的使用方法。注意 使用 · 維護時氣動元件(電空減壓閥) 為了安全地使用本產品請務必在使用前閱讀。氣動元件的通用注意事項，請確認卷頭第53頁，各系列的詳細注意事項請確認本文的「 使用上的注意事項」。 576 1 質量不好的空氣向一次側(大氣側)供給會影響元件特性及耐久性。

● 在有粉塵的環境中使用時,請安裝過濾器除去。

● 二次側配管也同樣如果配管內、負荷側內部有污染會影響元件的特性及耐久性，空氣配管請在操作前,進行吹氣,除去異物后再連接。

● 請根據需要按下圖推薦的空氣回路設置過濾器。 2 使用壓力側在真空的狀態下切斷電源,則可保持二次側壓力。

● 二次側向大氣開放時,請將輸入信號降下后在切斷電源,或者通過殘壓排出閥排出。另外,該保持狀態不能保證長時間保持。 3 使用壓力為對于控制壓力供給規定壓力。請確保在使用壓力的范圍內。<推薦空氣回路>真空用空氣過濾器 真空用空氣過濾器（大氣壓）工件真空用空氣過濾器 真空用空氣過濾器 1 在電源沒有接通的狀態，長時間外加使用壓力(真空側壓力),二次側壓力的真空度有可能上升到使用壓力警告 設計 · 選定時各機種系列 · 個別注意事項真空控制用EV210□V系列值。為了確保系統安全，請采取在二次側使用閥門等措施。注意 設計 · 選定時

● 特別是二次側壓力在0kPa到12％F.S.的范圍內的設定狀態,如果使用壓力長時間得不到供給,或者使用壓力長時間在「控制壓力+（－10kPa）」以下狀態,產品的壽命會縮短,請不要使用這樣的方法。 4 即使為0kPa設定,在0～－5kPa范圍內,二次側壓力不能*排放而殘留。

● 如果必需要0kPa時,請在二次側安裝3方閥采取與大氣切換等措施。 5 電流輸入型在配線、電源的接地和信號的公共極為共用。

● 多個EV由1臺PLC或者D/A配套元件驅動時，有可能會因 配套元件的回路方式,產生配線上的問題,而不能進行正常的信號輸入,使用時請與PLC制造商商談。 6 電流輸入型輸入信號為1-5V也可使用,但是與其他電壓輸入型不同,因輸入電阻很小為250Ω,請使用與之相對應的信號發生裝置。 1 如IN氣口用螺塞堵住，則不能進行正常的壓力控制, 請務必向大氣開放。 2 在配管氣口（VAC、OUT、IN）安裝接頭時,為了確保沒有泄漏,請使用密封材料(密封帶、膠狀密封劑)，請注意不要使密封材料或配管螺紋的切粉進入內部。另外,擰入VAC擰入 氣口的接頭時,請用扳手夾住吸氣模塊（□27）操作。 3 集成型多臺與模塊連接時,大氣開放氣口（IN1、 IN2）為通用。 4 選擇項的密封電纜接插件為4芯頻蔽線。

● 如果沒有使用綠色的特殊用途的線(監視器輸出等)，請確保不要與其他的線(包括頻蔽線)接觸,做好絕緣處理。如果誤與地線相接,會導致誤動作和產品的破損。 1 使用油回轉式真空泵時，為了防止油回轉進入,請關注意 使用 · 維護時閉真空泵的電源后,再使用殘壓閥等將真空破壞。